美國SRS PPR系列過程檢測系統(tǒng)

主要應(yīng)用：真空在線檢測,；高真空成份分析,；MOCVD 等在線過程監(jiān)控；10mTorr-10Torr 真空度內(nèi)反應(yīng)過程檢測等等

PPR過程監(jiān)控系統(tǒng)是過程監(jiān)測和診斷的真空檢測儀,。兩種不同的進(jìn)氣路徑提供給殘余氣體分析儀（RGA）：一路高壓進(jìn)氣模式用來檢測基本真空,，一路分壓模式用來檢測過程壓力。壓力減少路徑包含一個(gè)微小孔徑,，其目的是使運(yùn)行壓力工作在0.01,，0.1，1或10Torr,。 它使待測壓力環(huán)境滿足RGA的工作要求約10-6 Torr,。 這種壓力控制系統(tǒng)是由渦輪分子的混合泵和隔膜甭組成。 兩臺(tái)泵為無油工作,，不會(huì)污染您的操作系統(tǒng),。
PPR進(jìn)氣接口鏈接到被檢測的過程檢測系統(tǒng)有幾種方法。 該系統(tǒng)包括RGA,，旁通閥和三通,，控制器，渦輪泵,，隔膜泵,，和Windows 軟件程序進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和控制。
該軟件可用于多種模式,，包括模擬掃描,，直方圖模式,，壓力與時(shí)間模式。雙路法拉第杯和電子倍增器檢測器,，電子倍增器提供更高的靈敏度和較高的掃描速度,。PPR系統(tǒng)出廠時(shí)組裝校準(zhǔn)，可便捷的連接到真空系統(tǒng)中,。

主要應(yīng)用：真空在線檢測,；高真空成份分析；MOCVD 等在線過程監(jiān)控,；10mTorr-10Torr 真空度內(nèi)反應(yīng)過程檢測等等

主要性能

• 0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr進(jìn)口壓力

• 3 × 10-5 Torr-L/s流量

• 2秒的響應(yīng)時(shí)間(0.1Torr)

• 100,、200或300amu系統(tǒng)

• 現(xiàn)場可替換的電子培增管和燈絲

• 6個(gè)數(shù)量級(jí)動(dòng)態(tài)范圍